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商品コード：
SPSN

SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ)

関連カテゴリ：
電子顕微鏡関連 > TEMグリッド(SiN, Si, SiOメンブレン)
10～500nmのSiN膜から目的に応じた膜厚を選択
イメージング解像度と機械的強度の理想的なバランスを提供

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド



SiNメンブレンは、100%アモルファス、完全に無構造で特徴の無いメンブレン上で試料を観察できます
SiNメンブレンTEMグリッドは、ナノ粒子、in-situ高温研究にとって理想的なTEMグリッド

窒化シリコン(Si3N4)のユニークなメンブレンが革新性の高い手法により製造されています。
Si3N4の薄いフィルムは標準グレードのシリコンウェハー上に蒸着され、シリコンウェハーを
通してSi3N4層までバックエッチングにより、メンブレンウィンドウが生成されます。

●Si:N比が3:4より大きい低応力メンブレンは劇的な結果をもたらします
●バックグランドには構造やムラが見られません
●TEM、SEM、あるいは場合によってAFMのいずれかを用い、そのまま置いた状態で反応の
　動的観測を高温下で行うための不活性基板としての用いられます
●メンブレンは少なくとも1000℃まで安定
●メンブレンの破れ(制限の範囲内で)を心配することなく、アニーリング時間の関数で形態情報が簡単に得られます
●TEMグリッドのように高精度のピンセットでメンブレンを取り扱うことができます
●耐薬品性(HCl、H2SO4および強塩基)



アプリケーションガイド

  アモルファス
シリコン		 多孔ナノ結晶
シリコン		 窒化
シリコン		 酸化
シリコン		 標準
カーボン		 薄膜
カーボン
メンブレン 5, 9, 15nm 30nm 10, 15, 20, 30, 50, 75, 
100, 150, 200, 500nm		 20, 40, 100nm 20-50nm 5-10nm
イメージ*1 優れている 良い 有効 有効 有効 良い
プラズマ洗浄 可 可 可 可 不可 不可
物質解析
バックグラウンド		 Si Si Si, N Si, O C, H C, H
熱安定性 ～600℃ ～600℃ ～1000℃ ～1000℃ ～400℃ ～400℃
化学安定性 強酸は避ける 強酸は避ける 優れている 有効 有効 有効
高ビーム電流*2 優れている 優れている 有効 有効 優れている 優れている
コンタミネーション
の可能性		 無 無 無 無 カーボン カーボン
ナノスケールポア
マイクロスケールポア		 無 有(ナノポア) 無 無 無 無
バックグラウンド 無 ナノ結晶 無 無 無 無
*1 気孔の上にサンプルがある場合、多孔性のSIグリッドは干渉するバックグラウンドなしのサンプルイメージを可能にします。
5nm非多孔/無孔シリコンメンブレングリッドは超薄カーボンコートグリッドより2倍以上色にじみが減少します。
*2 ビーム下の安定性は電子によって打たれたフィルムの劣化の可能性により決定されます。5nm非多孔/無孔シリコン
メンブレングリッドは超薄カーボンコートグリッドより2倍以上色にじみが減少します。純粋なSiは妨げになる結合形成が
ないため最も安定しています。SiO2 とSiNは電子の分子フィルム結合の妨げとフィルム劣化により崩壊されます。

​
■窒化シリコンメンブレン膜厚/ウィンドウサイズによる破裂圧力(atm)■
  0.1x0.1 0.15x0.15 0.25x0.25 0.5x0.5 1x1 1.5x1.5 2x2 2.5x2.5
10nm >2 1.5 0.85 0.4        
15nm >2 >2 1.7 0.75        
20nm >2 >2 >2 0.8        
30nm >2 >2 >2 1.1 0.55      
50nm >2 >2 >2 1.3 0.8 0.5 0.35  
100nm >2 >2 >2 >2 1.1 0.85 0.6  
200nm >2 >2 >2 >2 1.7 0.9 0.8 0.55


メンブレン厚
窒化シリコンの厚さは10種: 10, 15, 20, 30, 50, 75, 100, 150, 200, 500 nm
シリコンウェハーから窒化シリコン層までバックエッチングすることで、メンブレンウィンドウが作られます。

ウィンドウサイズ: 7種類







 

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド: 1000 x 1000umウィンドウ

メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4161SN-BA 150nm 1000 x 1000um 1 200um 10/pk ¥55,000
4112SN-BA 100nm 10/pk ¥55,000
4135SN-BA 50nm 10/pk ¥68,000
4162SN-BA 30nm 10/pk ¥80,000
4001SN-BA 15nm 10/pk ¥80,000
4112-ETCH 膜無 10/pk ¥55,000


 
SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ) 画像を拡大する

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド: 500 x 500umウィンドウ

フレーム厚:100um
メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4131SN-BA 100nm 500 x 500um 1 100um 10/pk ¥68,000
4132SN-BA 50nm 10/pk ¥78,000
4192SN-BA 30nm 10/pk ¥93,000
4131-ETCH 膜無 10/pk ¥55,000

フレーム厚:200um
メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4109SN-BA 500nm 500 x 500um 1 200um 10/pk ¥55,000
4120SN-BA 200nm 10/pk ¥55,000
4121SN-BA 150nm 10/pk ¥55,000
4122SN-BA 100nm 10/pk ¥55,000
4123SN-BA 75nm 10/pk ¥65,000
4124SN-BA 50nm 10/pk ¥65,000
4125SN-BA 30nm 10/pk ¥75,000
4159SN-BA 20nm 10/pk ¥78,000
4002SN-BA 15nm 10/pk ¥78,000
4003SN-BA 10nm 10/pk ¥78,000
4109-ETCH 膜無 10/pk ¥55,000


 
SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ) 画像を拡大する

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド: 250 x 250umウィンドウ

メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4098SN-BA 500nm 250 x 250um 1 200um 10/pk ¥55,000
4099SN-BA 200nm 10/pk ¥55,000
4100SN-BA 150nm 10/pk ¥55,000
4101SN-BA 100nm 10/pk ¥55,000
4102SN-BA 75nm 10/pk ¥68,000
4103SN-BA 50nm 10/pk ¥68,000
4104SN-BA 30nm 10/pk ¥75,000
4105SN-BA 20nm 10/pk ¥78,000
4004SN-BA 15nm 10/pk ¥78,000
4005SN-BA 10nm 10/pk ¥78,000
4099-ETCH 膜無 10/pk ¥55,000


 
SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ) 画像を拡大する

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド: 150 x 150umウィンドウ

メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4007SN-BA 10nm 150 x 150um 1 200um 10/pk ¥78,000





 
SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ)

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド: 100 x 100umウィンドウ

メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4091SN-BA 500nm 100 x 100um 1 200um 10/pk ¥55,000
4092SN-BA 200nm 10/pk ¥55,000
4093SN-BA 150nm 10/pk ¥55,000
4094SN-BA 100nm 10/pk ¥55,000
4095SN-BA 75nm 10/pk ¥68,000
4096SN-BA 50nm 10/pk ¥68,000
4097SN-BA 30nm 10/pk ¥75,000
4107SN-BA 20nm 10/pk ¥78,000
4006SN-BA 10nm 10/pk ¥78,000
4092-ETCH 膜無 10/pk ¥55,000


100um フレーム厚
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4330SN-BA 30nm 100 x 100um 1 100um 10/pk ¥78,000


 
SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ) 画像を拡大する

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド: 50 x 50umウィンドウ

メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4088SN-BA 100nm 50 x 50um 1 200um 10/pk ¥68,000
4090SN-BA 30nm 10/pk ¥75,000
4163SN-BA 20nm 10/pk ¥78,000
4008SN-BA 15nm 10/pk ¥78,000
APT100-Q00 膜無 25 x 25um 100um 10/pk ¥55,000




 
SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ) 画像を拡大する

窒化シリコンメンブレンTEMグリッド: 10 x 10umウィンドウ

メンブレン:窒化シリコン
型番 メンブレン厚 ウィンドウ ウィンドウ数 フレーム厚 数量 価格
4222SN-BA 20nm 10 x 10um 1 200um 10/pk ¥78,000
SiN 窒化シリコンメンブレンTEMグリッド (シングルウィンドウ)