会社概要
Zinc Oxide (ZnO) Crystal Substrates
酸化亜鉛(ZnO)結晶基板
酸化亜鉛はワイドバンドギャップ半導体材料です。 高効率半導体光電子デバイス、半導体光触媒、希薄磁性半導体などに幅広い用途があります。 その格子の完全性のために、ZnO単結晶は高品質のZnOベースの半導体デバイスの製造に不可欠です。 また、さまざまな薄膜のエピタキシャル成長に理想的な基板材料でもあります。
| 化学式 | ZnO |
|---|---|
| 結晶構造 | 六方晶 |
| 純度 | 99.99% |
| 格子定数 | a=3.252 A, c=5.313 A |
| 密度 | 5.7 (g/cm3) |
| 融点 | 1975℃ |
| 線形熱膨張係数(CTE) | a軸に沿って6.5 x 10-6 /k c軸に沿って3.7 x 10-6 /k |
| モース硬度 | 4 |
| ゼーベック係数 | 1200 uV/K at 300 K |
| 熱伝導率 | 0.006 Cal/cm/K |
| 光伝送 | 厚さ2mm(波長400nm〜600nm)で> 50% |
| 表面研磨 | 片面研磨(SSP)または両面研磨(DSP) O面またはZn面のいずれかでのCMP研磨 |
| 表面粗さ | Ra <5A(AFM表面粗さ測定) |
| 結晶配向 | C面(0001), A面(11-20), M面(1-100)+/- 0.5度 |
| サイズ | 5 x 5mm, 10 x 10mm, 25 x 25mm |
ZnO Crystal Substrates 5mm x 5mm
酸化亜鉛(ZnO)結晶基板: 5 x 5mm
サイズ: 5 x 5 x 0.5mm
| 型番 | 品名 | 結晶配向 | 表面研磨 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|
| ZNO5-0001-O | 酸化亜鉛単結晶基板 5 x 5 x 0.5mm |
c plane(0001) | O-face(片面) | 1 | ¥43,000 |
| ZNO5-0001-ZN | Zn-face(片面) | 1 | ¥43,000 | ||
| ZNO5-1010-SS | (10-10) | 片面 | 1 | ¥50,000 | |
| ZNO5-1011-SS | (10-11) | 片面 | 1 | ¥50,000 |
ZnO Crystal Substrates 10mm x 10mm
酸化亜鉛(ZnO)結晶基板: 10 x 10mm
サイズ: 10 x 10 x 0.5mm
| 型番 | 品名 | 結晶配向 | 表面研磨 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|
| ZNO10-0001-O | 酸化亜鉛単結晶基板 10 x 10 x 0.5mm |
c plane(0001) | O-face(片面) | 1 | ¥86,000 |
| ZNO10-0001-ZN | Zn-face(片面) | 1 | ¥86,000 |
ZnO Crystal Substrates 25mm x 25mm
酸化亜鉛(ZnO)結晶基板: 25 x 25mm
サイズ: 25 x 25 x 0.5mm
| 型番 | 品名 | 結晶配向 | 表面研磨 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|
| ZNO25-0001-O | 酸化亜鉛単結晶基板 25 x 25 x 0.5mm |
c plane(0001) | O-face(片面) | 1 | ¥245,000 |
| ZNO25-0001-ZN | Zn-face(片面) | 1 | ¥245,000 |